面板TEG Prober | |||||
型號 | TEG prober-G6 | TEG prober-G8.5 | |||
外形 | 2850mm(寬)x2500mm(長)x2500 mm(高) | 4000mm(寬)x3500mm(長)x2500 mm(高) | |||
重量 | 約9700KG | 約14200KG | |||
電力需求 | 380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | ||||
可測試液晶屏尺寸 | 長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |||
平臺功能 | Gantry結構 | 龍門式,可以選擇雙龍門 | |||
X-Y-Z軸運動行程 | 1850*1500 *58mm(X-Y-Z) | 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | |||
X-Y運動速度 | 0~600mm/s可調 | 探針規格 | 針卡 | 兩套,可同時測試兩個patten | |
X-Y精度(最小移動量) | 0.1um | Pitch范圍:定制 | |||
X-Y重復定位精度 | ±1um | 探針材質:鎢or鈹銅等 | |||
X-Y 軸驅動 | 直線電機+光柵尺 | 工作模式:可以單獨測試,或者兩個針卡一起測試。兩個針卡間的相互距離可調。 | |||
Z 運動速度 | 0~10mm/s可調 | ||||
Z精度 | 0.25um | 探針和TEG對位方式 | 坐標定位 | ||
Z重復定位精度 | ±1um | 測試過程中的二次視覺檢測 | |||
Z軸驅動 | 伺服電機+光柵尺 | 探針和TEG的接觸方式 | 自動接觸 | ||
Z軸保護 | 電機自鎖+機械限位保護 | 探針自動保護功能:edge sensor 和機械限位,可以根據panel厚度設定限位高度,點針的OD值可設。 | |||
樣品臺平整度 | ±50um平整度 | ||||
樣品臺涂層 | 防靜電涂層 | ||||
樣品臺高低溫 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) | ||||
光學特性 | 光路系統倍率: |
5X ,10X ,20X,50X Objects |
探針軸旋轉行程 | ±90° | |
放大倍率范圍50X~ 500X | 探針旋轉精度 | 0.01° | |||
聚焦 | 自動聚焦 | 旋轉重復定位精度 | 0.03° | ||
CCD | 200/500萬像素工業相機 | 探針清潔 | 自動清針 | ||
光源 | 面背光、點背光、上光源 | 清潔后自動測針 | |||
光源亮度獨立可調,面背光可選擇分區控制 | 探針臺漏電精度(安裝針卡的情況) | 100fA 以內(測試標準:給針卡任意針腳加壓—5V~+5V,在不吹N2的情況下,空載測試漏電流<100fA)吹氮氣N2輔助干燥(Recipe 可以設置是否開啟N2且N2測試報告體現開N2與不開N2區別) | |||
激光特性(選件) | 激光系統 | 激光切割系統(2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) | |||
0-100% | |||||
激光波長 | 1064nm,532nm,355nm | ||||
光斑尺度 | 1.0um @100X object | 測試能力 | 測試系統 | 兩套 | |
2.0um @50X object | 半導體參數測試系統:2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測試單元+高精度矩陣開關等 | ||||
工作模式 | One Shot/Burst/Continue | ||||
形狀 | 可調節的矩形 | TFT測試項目 | Ion | ||
控制 | 工作模式 | 自動測試,CIM通訊,實現數據的自動導入和輸出 | Ioff | ||
Vth | |||||
上下片 | 機械手或者流水線 | Mobility | |||
CIM系統 | 有 | Swing | |||
減震 | 被動式減震系統,能夠確保點針測試的穩定性 | Resistance測試項目 | Rs | ||
工業PC | 23寸顯示器&電腦:i7 處理器,1TB硬盤2塊 | Rc | |||
(其中一塊為備份硬盤),8G內存,1G獨立顯卡 | 最大輸送電壓 | ±200V | |||
通訊接口 | RS232/485/TCP/IPGPIB等 | 最大輸送電流 | ±1A | ||
安全 | 整機帶屏蔽罩,操作人員在屏蔽罩外操作 | 電流測試分辨率 | 1fA(無需前置放大器) | ||
緊急開關EMO | 電壓測試分辨率 | 0.5uV | |||
限位sensor,運動平臺和探針系統限位互鎖 | CV 測試頻率范圍 | 1kHz~5MHz | |||
Interlock報警,自動關閉系統(軟件設置為可選) | 接地單元電流宿能力 | 4.2A GNDU | |||
應用方向 | OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學測試 | ||||
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特點: |
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快的測試速度 |
超高的測試精度 |
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穩定的測試結果 |
mult-probe card設計 |
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0.1um精度的直線電機平臺 |
自動清針,自動測針 |
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極小的針痕損傷 |
全自動測試 |
- 名稱:TEG面板激光探針臺
- 型號:TEG
- 品牌:SEMISHARE
- 描述:TEG系列面板激光探針臺主要是對液晶屏的TEG電路進行分析,測試電學參數,實現全自動化的一款自動測試應用設...
服務熱線:0755-86185757
產品概述
主要特點
選型指南
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產品概要
TEG系列面板激光探針臺主要是對液晶屏的TEG電路進行分析,測試電學參數,實現全自動化的一款自動測試應用設備;該產品能快速精準的對產品的性能作出分析判斷,進一步對產品進行缺陷修復,大大的提高企業生產的良品率和經濟效益
基本信息
產品型號 | TEG prober-G8.5 | 工作環境 | 開放式 |
電力需求 | 380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | 操控方式 | 全自動 |
產品尺寸 | 4000mm(寬)x3500mm(長)x2500 mm(高) | 設備重量 | 約14200KG |
應用方向
OLED/TFT-LCD 面板的TEG電學測試
技術特點
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