射頻信號發生器由頻率合成、射頻信號發生及處理、射頻驅動及調制、CPU及接口控制、電源、內調制信號發生器等幾個部分組成。

        CPU板負責實現信號發生器的所有控制功能。CPU板接收前面板鍵盤和后面板網絡口、GP-IB口及RS-232串口輸入的命令，隨后通過內部總線把它轉換為對儀器狀態的設置。CPU板同時還檢測儀器內部電路狀態并在前面板顯示器上顯示出來，如失鎖、不穩幅等。前面板顯示器采用大屏幕彩色液晶。顯示器，負責顯示儀器的設置和狀態信息。

頻率合成部分采用多環頻率合成方案。

     它包括高性能參考環、高分辨率小數環、高純本振環、取樣變頻、YO鑒相和誤差驅動。CPU首先通過YO驅動上。的預置DAC將YIG振蕩器的輸出頻率進行粗略設置。高純本振環將YIG振蕩器輸出的千兆赫茲級的微波信號無失真地取樣變頻到f兆赫茲級的中頻信號。中頻信號與小數環輸出的高分辨率信號進行頻率/相位比較，取得的誤差電壓來精確調節YIG振蕩器的輸出并使之鎖定在指定頻率上。

YTO電路在頻率合成器作用‘下，輸出3.2GHz~8CHz的高純頻率合成信號。

該信號在分頻組件中實現放大和功分，而在其中一路作為頻率反饋信號送到高純取樣本振環，一路進入擴頻組件實現3.2GHz~6GHz的高端頻率覆蓋，--路利用數字分頻技術實現250kHz~3.2GHz低端頻率覆蓋，經過濾波后進入F變頻組件。

下變頻組件完成低端頻率信號的放大、矢量調制、幅度控制、脈沖調制和濾波。

在其中250kHz~250MHz的信號由1GHz~1.25GHz信號與1GHz高純本振信號混頻產生。

擴頻組件完成高端頻率信號的放大、矢量調制、幅度控制、脈沖調制和濾波。

整機的功率控制和幅度調制由ALC環構成。

低端頻率和高端頻率各自由自己的耦合器和檢波器，將射頻輸出信號耦合出一小部分并將它轉換為對應的直流電壓，此電壓與ALC環板中的參考電壓相比較，取得的誤差電壓去驅動下變頻器中的線性調制器，來調節射頻功率直到檢波電壓和參考電壓相等，從而實現功率控制。