>卡盤XY移動平臺（標準配置）
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XY行程范圍 |
300 mm x300 mm (12"x12") |
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XY最佳行程 |
300mm x 300 mm（滿足大范圍行程測試） |
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移動精度/分辨率 |
< 1.0 μm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev) |
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平面性 |
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theta行程 |
粗調：360° |
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運動控制 |
氣控+無牙螺母控制 |
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Z軸升降 |
快速升降：3mm |
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微調升降：0-13mm,精度：≤2μm |
>針座平臺
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材料 |
鋼鍍鎳 |
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尺寸 |
見產品尺寸介紹第8頁 |
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最大針座數量 |
8 DC and 4 RF(取于針座配置) |
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卡盤到針座平臺下底面最佳距離 |
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Z-height運動范圍 |
Max.0-40mm (取于卡盤配置) |
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Separation lift |
3段：分離(300μm)，Load裝載(5mm),不間斷升降（0-40mm) |
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接觸重復性 |
< ±1μm (0.08 mils) |
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RF 針座固定 |
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DC 針座固定 |
磁力吸附/真空吸附 |
