產品概要

CG高低溫真空探針臺是SEMISHARE多年來技術積累的創新成果，同時SEMISHARE也是國內率先自主研發推出的高低溫真空探針臺，CG高低溫真空探針臺能夠實現樣品在真空高低溫環境下的精確電性、光強、波長、磁場等測試，其在超低溫，超高真空，自動控制，激光模擬方面發揮著技術優勢。

應用方向

CG高低溫真空探針臺在高低溫真空環境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的IV/CV特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等

常見2種應用需要真空測試環境

極低溫測試:

晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。同時由于真空絕熱作用可以有效提高制冷效率。

高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。